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荒芜心田520

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关于PECVD的珍贵资料

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荒芜心田520 发布于2007-8-2 06:55 115 次浏览 12 位用户参与讨论

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荒芜心田520 发表于 2007-8-14 07:50:20

PECVD其实就是等离子增强化学气体沉积（英语的缩写了）

它是一种用高频放电加速气体之间的反应来在物体的表面膜上一层几十微米的膜。

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13783830962 发表于 2007-8-28 21:12:15

看不到附件

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xuehui190 发表于 2007-9-2 15:33:26

我也是做ＰＥＣＶＤ的，希望认识你
QQ570295023

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