该用什么材质

各位大家好：
    我想向大家询求一下材质问题。一个等离子镀膜腔有一个硅烷（SiH4）导气管，内径大约4mm，腔内温度大约500-600度，请问该硅烷导气管应该用什么材质加工？

不知道,需要高手来教下啊

铜管

暂时没接触过这个，看看其他人吧。